高纯水可分为电子级高纯水和通俗高纯水，别离用标记EH和PH标记。
  电子级高纯水：
  在制作工艺中操纵电子级高纯水的电力半导体器件有如下特色：
  a.具备邃密图形布局；b.对器件外表有特别请求；c.工艺对水质有特定的严酷请求。
  有四项查核内容：1、水中自在离子浓度；2、水中悬浮微粒的数目和巨细；3、水中无机物总量；4、水中细菌微生物状态。
  通俗高纯水：
  分为三个级别：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级。
  详细详见：中华国民共和国纯水规范点击下载
  再生回用水规范详见：再生回用水规范