电子级水份为四个级别；I级、Ⅱ级、Ⅲ级和Ⅳ级。标记为：
I级电子级水标记为：EW-I；
Ⅱ级电子级水标记为；EW-Ⅱ；
Ⅲ级电子级水标记为；EW-Ⅲ；
Ⅳ级电子级水标记为.EW-Ⅳ。
电子技术级水的传统手工艺阶段目标应适合使用表1的按照：
表1 电子器件级水的工艺阶段目标
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档次 制定目标 |
EW-I |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
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电阻功率率 MΩ﹒cm(25℃) |
18上文 (95N之前) 不达不到17 |
15 (95N之时 ) 不不少于13 |
12.0
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0.5
|
|
全硅，最主要值，µg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
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>1µm水分子数，更大值，个/mL |
0.01 |
5 |
10 |
500 |
|
结核杆菌最主要数，最主要值，个/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
|
铜,最大的值，µg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
|
锌，较大值，ug/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
|
镍，大值．µg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
|
钠．明显值，µg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
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钾，非常大值．ug/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
|
氯，主要值．ug/L |
l |
l |
10 |
1000 |
|
硝酸银根，最多值，ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
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磷酸根，最主要值．ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
磷酸根，最明显值,ug/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
|
总硅酸碳，较大 值，ug/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
具体情况规范化见：GBT11446 电子级超纯水中国国度规范
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如需具体领会超纯水处置装备，可见：反融于注射用水的装备
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